发明名称 INSTRUMENT ZUR ABERRATIONSKORREKTUR FÜR EIN KATHODENLINSENMIKROSKOP
摘要
申请公布号 DE602007007446(D1) 申请公布日期 2010.08.12
申请号 DE200760007446T 申请日期 2007.02.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 TROMP, RUDOLF M.
分类号 H01J37/05;G01N23/20;G01N23/227;H01J37/153 主分类号 H01J37/05
代理机构 代理人
主权项
地址