用于软性基板蚀刻制程的载台

摘要

本创作是一种用于软性基板蚀刻制程的载台，该载台主要系于一基座上组设一板材弧曲作用载体，藉以在软性基板通过载台为上方的蚀刻液喷头喷洒蚀刻液进行蚀刻作业时，利用板材弧曲作用载体使软性基板变形为高于两侧边的弧曲面，令喷洒于弧曲状软性基板上的蚀刻液得以增加流动性，避免蚀刻液积留于软性基板而产生水池现象，进而使软性基板进行蚀刻细微线路或图形的任何处均能达到全面性的均匀蚀刻效果。

主权项

1.一种用于软性基板蚀刻制程的载台，其主要系包含一基座以及一组设于基座上的板材弧曲作用载体，用以安装于蚀刻液喷洒头下方，使软性基板通过该板材弧曲作用载体时形成中央高于两侧边的弧曲状。 ;2.如申请专利范围第1项所述之用于软性基板蚀刻制程的载台，其中，该板材弧曲作用载体为一片上表面具有中央较高、两侧边较低的弧曲面的大面积板体。 ;3.如申请专利范围第1项所述之用于软性基板蚀刻制程的载台，其中，该板材弧曲作用载体为复数支上表面具有中央较高、两侧边较低的弧曲面的板条间隔排列而成。 ;4.如申请专利范围第1项所述之用于软性基板蚀刻制程的载台，其中，该板材弧曲作用载体为复数支撑轴平行间隔排列于基座上所构成，每一支撑轴具有一轴杆以及复数直径不等且可旋转的圆形支撑叶片，该复数圆形支撑叶片间隔组设于轴杆上，且以最大直径的圆形支撑叶片位于轴杆中央、最小直径的圆形支撑叶片位于轴杆两侧之由中央朝两侧尺寸渐缩的方式排列。 ;5.如申请专利范围第1项所述之用于软性基板蚀刻制程的载台，其中，该板材弧曲作用载体为复数气体喷射组件平行间隔排列于基座上所构成，用以外接气体供应源，每一组气体喷射组件包含一连通管以及复数间隔组设于该连通管上的气体喷头，该复数气体喷头中，喷射气压量最大气体喷头位于连通管中央，并自连通管中央朝两侧排列的气体喷头的喷射气压量递减。;第一图系本创作用于软性基板蚀刻制程的载台的第一较佳实施例的平面示意图。;第二图系本创作用于软性基板蚀刻制程的载台的第二较佳实施例的平面示意图。;第三图系本创作用于软性基板蚀刻制程的载台的第三较佳实施例的平面示意图。;第四图系习知软性基板蚀刻制程的平面示意图。;第五图系习知软性基板蚀刻载台承载软性基板的侧视平面示意图。