具折射率及厚度修正效益之精密光学镀膜监控法

摘要

一种具折射率及厚度修正效益之精密光学镀膜监控法，系从一光学监控图形上所提供之资讯，结合在极值点和终点上膜堆之光学特性，以推导出各膜层之折射率、厚度及其对应之补偿厚度，藉此帮助镀膜者对原始输入之折射率做即时之修正，并依每膜层之终点穿透率或反射率计算出前膜层之厚度，找出对监控波长具错误补偿厚度之切点，不仅可使其光谱位置不偏移及中心极值不改变，且该镀膜者可任意选择每膜层对应在预估之切点附近有较高灵敏度之监控波长，而使该镀膜者更能掌握制程状况，以制镀出更符合原设计之光学元件。

主权项

1.一种具折射率及厚度修正效益之精密光学镀膜监控法，其至少包括下列步骤：(A)在一光学监控图形曲线中选择一较高灵敏度之波长为监控波长；(B)于开始镀膜时，利用该光学监控图形曲线随膜之厚度成长而变化之穿透率或反射率之极值点，记录其值，并以此推算当下膜层之折射率；(C)纪录该当下膜层终点或下一层起始点之穿透率或反射率值，以推算该当下膜层之厚度；(D)在制作多层膜堆时，依据步骤(B)及步骤(C)所算出之各膜层折射率和厚度，以计算前层膜堆对应于一参考波长之等效导纳值；(E)依据该前层膜堆对应于该参考波长之等效导纳值在切点为实数之特性，算出该当下膜层对应具错误补偿效益之补偿厚度；(F)推算该监控波长对应于补偿厚度之切点，并以此切点为停镀点(Cut-point)停镀；以及(G)判断是否为最末层，若不为最末层则回至步骤(A)制作下一层。 ;2.依申请专利范围第1项所述之具折射率及厚度修正效益之精密光学镀膜监控法，其中，该监控波长系在预估之切点附近有较高之灵敏度。 ;3.依申请专利范围第1项所述之具折射率及厚度修正效益之精密光学镀膜监控法，其中，该前层膜堆对应该参考波长之等效导纳值，系结合一四分之一波堆之补偿厚度，使该参考波长在切点之等效导纳值到达实数轴。;第1图，系本发明之制作流程示意图。;第2图，系本发明之实施示意图。