太阳能选择性吸收涂层及其制备方法

摘要

本发明涉及一种防扩散、结构稳定的太阳能选择性吸收涂层，属于太阳能光热转换利用领域。所述的吸收涂层由下而上依次包括金属底层、吸收层和减反射层，在金属底层上沉积由TiC、TiN和TiCN构成的第一阻热扩散层，在吸收层上沉积由TiN和Ti构成的第二阻热扩散层。所述的选择性吸收涂层是利用金属靶在气体中溅射生成。本发明的有益效果是：有效防止涂层间的热扩散作用，结构稳定，耐高温性能好，热效率提高，制备方法简单，生产成本低廉。

主权项

一种太阳能选择性吸收涂层，由下而上依次包括金属底层、吸收层和减反射层，其特征在于：在金属底层上沉积由TiC、TiN和TiCN构成的第一阻热扩散层，在吸收层上沉积由TiN和Ti构成的第二阻热扩散层；所述第一阻热扩散层的厚度为5-10nm，TiC、TiN和TiCN的摩尔比为1∶1.5～4∶3～5，所述第二阻热扩散层的厚度为5-10nm，TiN和Ti的摩尔比为1∶1.5～4。