汽车歧管绝压传感器

摘要

本发明公开的是一种汽车歧管绝压传感器，包括扩散硅芯片，其特征在于，在扩散硅芯片的表面上运用硅-硅键合和硅-玻璃融封技术形成一个杯型背压腔保护层，把流体介质与扩散硅芯片表面电路隔离，所述杯型背压腔保护层上设有基座引脚，所述基座引脚通过焊接的方式与扩散硅芯片的芯片引角连接；扩散硅芯片与杯型背压腔保护层形成敏感元件。本发明具有能够抗振动、抗冷热冲击、抗过载、抗电磁干扰的能力以及体积小、结构灵活、精度高、稳定性和一致性好优点；而且可换性强，抗腐蚀和抗磨损能力卓越，从而使扩散硅压力传感器在生产工艺上和性能指标上了一个新台阶，产业化水平有了较大的提高，应用设计灵活性有了大大的提高。

主权项

汽车歧管绝压传感器，包括扩散硅芯片，其特征在于，在所述扩散硅芯片的表面上运用硅-硅键合和硅-玻璃融封技术形成一个杯型背压腔保护层，把流体介质与扩散硅芯片表面电路隔离，所述杯型背压腔保护层上设有基座引脚，所述基座引脚通过焊接的方式与扩散硅芯片的芯片引角连接；所述扩散硅芯片与杯型背压腔保护层形成一敏感元件。