基板处理系统和基板处理方法

摘要

在本发明中，在涂布显影处理系统中的加热处理装置的基台上，呈直线状并排设有多个热处理板。在加热处理装置中设有在相邻热处理板之间的各区间搬送基板的3个搬送部件群。在加热处理装置中实施前烘处理时，基板被依次搬送到温度相同的热处理板上，并在各热处理板上分割开来进行热处理。在本发明中，各基板在热处理时都经过了相同的路径，因此，在各基板之间的加热经历是固定的。

主权项

一种基板处理系统，其特征在于：至少具有，将抗蚀剂涂布在基板上的涂布处理装置、对基板实施显影处理的显影处理装置、以及对基板实施热处理的热处理装置，并在基板上形成抗蚀剂图案，所述涂布处理装置、显影处理装置或热处理装置中的至少一个处理装置具有多个处理部，用所述多个处理部将处理分割成多个步骤予以实施，通过将基板依次搬送到每个所述处理部，使各基板经过相同的路径被处理。