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发明名称
摘要
申请公布号
JP4523290(B2)
申请公布日期
2010.08.11
申请号
JP20040004180
申请日期
2004.01.09
申请人
发明人
分类号
H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;H03K19/00
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
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