一种安全蒸镀机

摘要

本实用新型涉及基板或镭射膜的蒸镀技术领域，尤其是指一种发生故障后能自动报警的安全蒸镀机，包括蒸镀仓、控制箱、蒸镀发生器及排气装置，排气装置包括机械泵及与机械泵的出风口连通的排气管道，机械泵的进风口通过管道与容器连通，所述机械泵旁侧设有维持泵，维持泵的进风口和出风口分别通过管道与机械泵的进风口和出风口连通；所述排风装置设有检测机械泵或维持泵是否正常工作的检测器，当机械泵或维持泵发生故障而无法工作时，控制箱控制报警器开始报警，提醒操作人员做相应的处理，从而避免因设置于容器内的增压泵和扩散泵还在继续加热，导致蒸镀仓内的高压气体不能及时排出而影响蒸镀机的蒸镀效果，进而减少安全事故的发生。

主权项

一种安全蒸镀机，包括蒸镀仓(1)、设置于蒸镀仓(1)外部的控制箱、与蒸镀仓(1)通过管道连通的蒸镀发生器、与蒸镀发生器通过管道连通的排气装置，蒸镀发生器包括容器(2)、设置于容器(2)内的增压泵和扩散泵，容器(2)底部设有电加热器(3)，排气装置包括机械泵(4)及与机械泵(4)的出风口连通的排气管道(5)，机械泵(4)的进风口通过管道与嬀 器(2)连通，其特征在于：所述机械泵(4)旁侧设有维持泵(6)，维持泵(6)的进风口和出风口分别通过管道与机械泵(4)的进风口和出风口连通；所述排气装置设有检测机械泵(4)或维持泵(6)是否正常工作的检测器，该检测器与控制箱电连接；控制箱设有与控制箱电连接的报警器。