发明名称 用于低碳钢纳米压入试样的抛光液
摘要 一种用于低碳钢纳米压入试样的抛光液,所述抛光液按体积百分比由下述组分组成:SiO2浓度为20~35%的硅溶胶35~50%,胺碱0.07~1.1%,螯合剂0.07~0.35%,表面活性剂0.35~1.4%,氧化剂0.35~1.4%,立方氮化硼CBN浓度为0.1~0.2%的水溶液20~35%,助溶剂8~10%,以及去离子水10~20%。本发明提供一种抛光效率高、抛光质量好且对试样无损害的用于低碳钢纳米压入试样的抛光液。
申请公布号 CN101343741B 申请公布日期 2010.08.11
申请号 CN200810120590.6 申请日期 2008.08.21
申请人 浙江工业大学 发明人 文东辉;陶黎;洪滔
分类号 C23F3/04(2006.01)I 主分类号 C23F3/04(2006.01)I
代理机构 杭州天正专利事务所有限公司 33201 代理人 王兵;王利强
主权项 一种用于低碳钢纳米压入试样的抛光液,其特征在于:所述抛光液按体积百分比由下述组分组成:SiO2浓度为20~35%的硅溶胶35~50%,胺碱0.07~1.1%,螯合剂0.07~0.35%,表面活性剂0.35~1.4%,氧化剂0.35~1.4%,立方氮化硼CBN浓度为0.1~0.2%的水溶液20~35%,助溶剂8~10%,以及去离子水10~20%;SiO2的粒径范围为450~650nm,SiO2的分散度在±5%之间,所述胺碱是多羟多胺类有机碱,所述的表面活性剂为Qs、Oπ系列活性剂或JFC型活性剂,所述螯合剂是FA/O螯合剂,所述立方氮化硼CBN的粒径范围为450-650nm。
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