| 发明名称 | 薄膜晶体管阵列基板及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种薄膜晶体管阵列基板及其制造方法，其中所述薄膜晶体管阵列基板包括：衬底；所述衬底上的相互交叠的栅极线层和数据线层；位于所述衬底上非显示区域内的、与所述数据线层交叠的短路杆，所述短路杆与所述栅极线层位于同一层；所述短路杆与所述数据线层之间的隔离绝缘的介质层；覆盖于所述短路杆和所述数据线层上的钝化层；还包括：横跨所述短路杆和数据线层交界处的通孔，所述通孔的内表面暴露出短路杆、数据线层、以及所述介质层；在所述通孔的内表面覆盖的短路电极线，所述短路电极线将所述数据线层和所述短路杆电性连接。所述薄膜晶体管阵列基板的优点为制作过程较简单，有利于提高产品的良率。 | ||
| 申请公布号 | CN101800227A | 申请公布日期 | 2010.08.11 |
| 申请号 | CN200910046027.3 | 申请日期 | 2009.02.05 |
| 申请人 | 上海天马微电子有限公司 | 发明人 | 周刚;方永学;黄长虹 |
| 分类号 | H01L27/12(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I;G02F1/136(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李丽 |
| 主权项 | 一种薄膜晶体管阵列基板，包括：衬底；所述衬底上的相互交叠的栅极线层和数据线层；位于所述衬底上非显示区域内的、与所述数据线层交叠的短路杆，所述短路杆与所述栅极线层位于同一层；所述短路杆与所述数据线层之间的隔离绝缘的介质层；覆盖于所述短路杆和所述数据线层上的钝化层；其特征在于，还包括：横跨所述短路杆和数据线层交界处的通孔，所述通孔的内表面暴露出短路杆、数据线层、以及所述介质层；在所述通孔的内表面覆盖的短路电极线，所述短路电极线将所述数据线层和所述短路杆电性连接。 | ||
| 地址 | 201201 上海市浦东新区汇庆路889号 | ||