有机薄膜制造方法

摘要

即使不加快成膜速度，也形成均匀膜厚的薄膜。预先使配置于蒸发室(20a)内的蒸发装置(24)升温，从供给装置(40)使有机材料(48)落下至蒸发装置(24)的蒸发面(28)上，在使有机材料(48)蒸发时，将被加热的运载气体导入至蒸发室(20a)，在蒸发室(20a)内进行混合，并导入至放出装置(70)内。在仅将有机材料蒸气导入至放出装置(70)内的情况下，在放出装置(70)内形成分子流，但运载气体使放出装置(70)内的压力上升，因而形成粘性流，混合气体充满于放出装置(70)内，均匀地放出。每次少量地供给有机材料，使成膜速度不过快即可。

主权项

一种有机薄膜制造方法，预先以供给配管将蒸发室和蒸气放出管连接，将有机材料供给至所述蒸发室，对供给至所述蒸发室的所述有机材料进行加热并使其蒸发，使所生成的有机材料蒸气在供给配管内流动并导入至蒸气放出管内，从设在所述蒸气放出管的放出孔放出，到达成膜对象物表面，在所述成膜对象物表面形成有机薄膜，其特征在于，将运载气体导入至所述蒸发室内，将所述运载气体和所述有机材料蒸气导入至所述蒸气放出管。