扫描电子显微镜

摘要

提供一种具有简单结构并提高了真空度的扫描电子显微镜(SEM)。根据本发明的扫描电子显微镜(SEM)包括具有样品架的SEM主体；电子光学单元，所述电子光学单元垂直于所述样品架安装在所述SEM主体上以和该样品架相对；真空泵，所述真空泵平行于所述电子光学单元安装在所述SEM主体内；以及控制单元，所述控制单元安装在所述SEM主体内以控制所述电子光学单元。

主权项

一种扫描电子显微镜(SEM)，所述扫描电子显微镜包括：SEM主体，所述SEM主体包括样品架；电子光学单元，所述电子光学单元垂直于所述样品架形成在所述SEM主体中；真空泵，所述真空泵平行于所述电子光学单元形成在所述SEM主体中并且和该电子光学单元相连接；以及控制单元，所述控制单元形成在所述SEM主体中以便控制所述电子光学单元。