用于计量仪器的探针装置和加工探针装置的方法

摘要

一种生产用于例如AFM(10)的计量仪器的探针装置(12)的方法，该方法包括提供具有正面和背面的基板(50)，然后在基板的第一表面上形成探针头高度结构的阵列(52)，该结构具有对应于可选探针头高度的变化的深度。蚀刻基板的背面，直至基板的厚度基本上对应于所选探针头高度，优选通过从视觉上监测该蚀刻和/或监测蚀刻速率。相对于悬臂(15)的固定端从晶片(100)的正面形成探针头图案，然后采用各向异性蚀刻技术进行蚀刻。结果，具有尖探针头和短悬臂的探针装置表现出大于700kHz或更高的固有共振频率。

主权项

一种用于探针显微镜的探针装置，所述探针包括：基部；悬臂，其由氮化硅制成并具有固定端和自由端；以及硅探针头，其定位在所述自由端的大约5μm的范围内，并且其中，所述悬臂的长度小于大约150μm，所述探针头的高度小于大约15μm，并且有效探针头半径小于大约20nm。