发明名称 正型感光性树脂组合物
摘要 本发明涉及正型感光性树脂组合物。感光性树脂组合物,其含有下述成分(A)、(B)和(C),成分(B)和(C)相对于成分(A)100质量份的构成比例分别设定为(B)5~50质量份和(C)1~40质量份。成分(A)是含有由富马酸二酯单体衍生的构成单元(a1)、由芳族乙烯基单体衍生的构成单元(a2)、由α,β-不饱和羧酸单体衍生的构成单元(a3)和由(甲基)丙烯酸酯单体衍生的构成单元(a4)的共聚物。成分(B)是具有重氮醌基的感光剂。成分(C)是具有2个以上环氧基的固化剂。
申请公布号 CN101799627A 申请公布日期 2010.08.11
申请号 CN201010113693.7 申请日期 2010.02.08
申请人 日油株式会社 发明人 田口宽之;二户吉德;加藤行浩;高桥修一;冈村聪也
分类号 G03F7/022(2006.01)I;G02F1/1335(2006.01)I;H01L23/532(2006.01)I 主分类号 G03F7/022(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 蔡晓菡;孙秀武
主权项 1.感光性树脂组合物,其含有成分(A)、(B)和(C),其特征在于,成分(A)是包含用下式(1)表示的由富马酸二酯单体衍生的构成单元(a1)、用下式(2)表示的由芳族乙烯基单体衍生的构成单元(a2)、用下式(3)表示的由α,β-不饱和羧酸单体衍生的构成单元(a3)和用下式(4)表示的由(甲基)丙烯酸酯单体衍生的构成单元(a4)的共聚物,构成单元(a1)和构成单元(a2)的合计量在该成分(A)中为40~85质量%,构成单元(a3)和构成单元(a4)的质量比(a4)/(a3)为0.2~7.0,<img file="FSA00000019683000011.GIF" wi="1099" he="321" />(式中,R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>分别是碳原子数为3~8的支链烷基、碳原子数为4~12的环烷基或取代支链环烷基)<img file="FSA00000019683000012.GIF" wi="1093" he="299" />(式中,R<sup>3</sup>是氢原子或甲基,R<sup>4</sup>是碳原子数为6~12的芳族烃基)<img file="FSA00000019683000013.GIF" wi="1092" he="477" />(式中的R<sup>5</sup>是氢原子、甲基或羧甲基)<img file="FSA00000019683000021.GIF" wi="1096" he="480" />(式中的R<sup>6</sup>是氢原子或甲基,R<sup>7</sup>是碳原子数为6~12的芳族烃基、碳原子数为1~12的烷基、碳原子数为1~12的支链烷基、碳原子数为2~12的羟基烷基或构成主环的碳原子数为5~12的脂环式烃基),成分(B)是使具有羟基的酚性化合物与重氮醌化合物进行酯化反应而得到的、具有重氮醌基的感光剂,成分(C)是具有2个以上环氧基的固化剂,成分(B)和(C)的构成比例相对于成分(A)100质量份分别是(B)为5~50质量份和(C)为1~40质量份。
地址 日本东京都