激光加工装置

摘要

激光加工方法和装置。本发明的激光加工方法，从产生激光(L2，L3)的激光振荡器(1)向由多个小型反射镜规则地排列而成的微镜阵列(7)照射激光，转换为具有与被加工物(15)的加工图形对应的截面形状的调制光(LM)，通过照射光学系统(20)对被加工物(15)照射而进行激光加工，使照射光学系统(20)的光轴(202)与通过激光(L2，L3)在微镜阵列(7)上产生的衍射光的方向大致一致。

主权项

一种激光加工装置，具有：激光源，其产生多个波长的激光；能动光学元件，其由多个能动光学元素规则地排列而成，将所述激光转换为具有与被加工物的加工图形对应的截面形状的调制光；以及调制光照射光学系统，其对被加工物照射所述调制光，其特征在于，由所述多个波长的激光在所述能动光学元件中产生的多个波长的衍射光的方向与所述调制光照射光学系统的光轴的方向大致一致，并且，所述激光加工装置还具有转动机构，该转动机构可改变所述激光源和所述能动光学元件中的至少任意一个相对于所述调制光照射光学系统的倾角，所述调制光照射光学系统对所述被加工物照射调制光，该调制光被所述能动光学元件沿着所述至少2个方向中的一个方向进行了偏转，所述转动机构可改变沿所述调制光照射光学系统的光轴前进的所述调制光的、相对于所述能动光学元件的出射角。