光电倍增管、放射线检测装置以及光电倍增管的制造方法

摘要

本发明提供光电倍增管、放射线检测装置以及光电倍增管的制造方法。在侧管(15)的一侧端部气密地接合受光面板(13)、在另一侧端部经由管状部件(31)气密地接合芯柱(29)而构成的真空容器内，配置光电面(14)、聚焦电极(17)、倍增极(Dy1～Dy12)、引出电极(19)以及阳极(25)。倍增极(Dy1～Dy12)和阳极(25)具有相互对应的多个通道。各电极具有在层叠方向上重叠的缺口，并将支承脚(21)和引线脚(47)配置在缺口内。在单位阳极之间具有配置有桥的凹部(28)，将阳极板配置在芯柱脚(27)上之后将桥切断。由于充分确保了各电极以及阳极(25)的有效面积，因此能够有效地检测电子。

主权项

一种光电倍增管(10)，所述光电倍增管(10)在具有构成一侧端部的受光面板(13)和构成另一侧端部的芯柱(29)的真空容器内，具备：光电面(14)，其将通过所述受光面板(13)入射的入射光转换为电子；电子倍增部，其使所述光电面(14)发射出的电子倍增；以及电子检测部，其具有阳极，所述阳极对所述电子倍增部倍增后的电子进行检测并将其作为输出信号输出，其特征在于，所述电子倍增部具有：电极层叠部，其由多个倍增电极(Dy1～Dy12)层叠多层而成；电位供给单元(47)，其对所述各倍增电极(Dy1～Dy12)分别提供预定的电位；以及聚焦电极(17)，其使所述光电面(14)发射出的电子集束到所述电极层叠部，在所述倍增电极(Dy1～Dy12)和所述阳极(25)的边缘部形成有缺口(24)，由所述缺口(24)形成的平面在所述倍增电极(Dy1～Dy12)的层叠方向(z)上重叠，所述电位供给单元(47)从所述芯柱(29)沿所述倍增电极(Dy1～Dy12)的层叠方向(z)延伸并贯穿由所述缺口(24)形成的平面，所述聚焦电极(17)配置在所述电极层叠部和所述光电面(14)之间，在所述倍增电极(Dy1～Dy12)的层叠方向(z)上覆盖所述缺口(24)和所述倍增电极(Dy1～Dy12)。