一种基于微流控技术的二维电光开关阵列装置

摘要

基于微流控技术的二维电光开关阵列装置采用“储气层+波导层+储液层”结构。其中，波导层包括平板基底(7)、基底上设有矩阵形式排列的波导结构(8)、波导交叉节点处设有液腔槽(9)、基底边缘留有气液连接通道(10)、电控光开关单元阵列(11)放置于波导交叉节点液腔槽(9)处；储气层为储存气体的密封容器(1)，容器边缘留有气压调节控制孔(4)、底部有气液连接开孔(5)贯穿波导层与储液层相通，容器上面设有与波导交叉节点一致的电极开孔(6)便于露出光开关控制单元电极(18)；储液层为上端开口的储存液体的容器，通过与波导层结合而密封，通过电湿效应改变微容器内部表面张力以调整液柱高度，实现光束的全反射与全透射，进而实现光的“开”和“关”动作。

主权项

一种基于微流控技术的二维电光开关阵列装置，其特征在于该装置采用储气层+波导层+储液层的结构；其中，波导层以平板基底(7)为载体，在平板基底(7)上设有矩阵形式排列的波导结构(8)，波导交叉节点处设有液腔槽(9)，基底边缘留有气液连接通道(10)，电控光开关单元阵列(11)放置于波导交叉节点液腔槽(9)处；储气层为储存气体的密封容器(1)，容器(1)边缘留有气压调节控制孔(4)，底部有气液连接开孔(5)贯穿波导层与储液层相通，容器上面设有与波导交叉节点一致的电极开孔(6)便于露出光开关控制单元电极(18)；储液层为上端开口的储存液体的容器，通过与波导层结合而密封，其内储存导电液体(12)。