红外传感器、焦平面阵列及其红外成像系统

摘要

一种红外传感器包括：第一膜层结构(103)，第二膜层结构(104)，和形成于第一膜层结构(103)和第二膜层结构(104)之间的空隙。参照光从第一和第二膜层结构(103，104)中的一个入射。当空隙变化时，从一个膜层结构透射的参照光的强度发生变化，而且反射回来的参照光的强度发生变化。当红外线入射时，至少一个膜层结构吸收红外线而导致至少一个膜层结构的温度发生变化，从而导致空隙的距离发生变化。通过探测从另一膜层结构透射的参照光的强度变化或者通过探测反射回来的参照光的强度的变化，从而测量到红外线。

主权项

PCT国内申请，权利要求书已公开。