apparatus for making etching area on substrate,申请号KR20080051006-传众专利搜索

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发明名称	apparatus for making etching area on substrate
摘要
申请公布号	KR100975429(B1)	申请公布日期	2010.08.11
申请号	KR20080051006	申请日期	2008.05.30
申请人		发明人
分类号	H01L21/67;H01L21/02	主分类号	H01L21/67
代理机构		代理人
主权项
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