发明名称 PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号 EP2019387(A4) 申请公布日期 2010.08.11
申请号 EP20070742957 申请日期 2007.05.08
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 SAITO, MITSUNAGA;SHINJIYO, YASUSHI;TAJIMA, YOSHIHIRO;ISHII, KOICHI;HOSOYA, MASAHIRO;TAKAHASHI, KEN
分类号 G09F9/00;G02B5/20;H01J9/227;H01L21/3205;H05K3/12;H05K3/20 主分类号 G09F9/00
代理机构 代理人
主权项
地址