具有含介质鳍片的绝缘导体的离子植入机终端结构

摘要

一种具有含介质鳍片的绝缘导体的离子植入机终端结构。在一实施例中，离子植入机终端结构可由含一个或多个介质鳍片的绝缘导体来实现。例如，离子植入机可包括配置成提供离子束的离子源。离子植入机还包括定义空腔的终端结构，其中离子源可至少部分地设置于空腔内。离子植入机还包括具有至少一介质鳍片的绝缘导体，此介质鳍片设置于终端结构的外部附近以改变电场。

主权项

一种离子植入机，其特征在于包括：离子源，配置成提供离子束；终端结构，定义一空腔，所述离子源至少部分地设置于所述空腔内；绝缘导体，具有至少一介质鳍片，所述介质鳍片设置于所述终端结构的外部附近以改变电场。