冷却装置及冷却方法

摘要

在真空冷却工序中，防止被冷却物的漰沸且实现冷却时间的缩短，且实现用于处理槽内的减压机构的水及蒸汽的使用量的削减。在将收纳在处理槽内的被冷却物真空冷却时，依次地执行将处理槽内减压到设定压力(P1)的急冷工序、将减压能力降低到比该急冷工序低而将处理槽内进一步减压的慢冷工序。上述设定压力(P1)被设定为下述压力：比使处理槽内的饱和蒸汽温度与被冷却物的温度相等的品温换算压力(P2)高出裕量压力(P3)；上述裕量压力(P3)以品温换算压力(P2)越小则上述裕量压力(P3)越小的方式设定。例如上述设定压力(P1)被设定为品温换算压力(P2)的设定比率的压力。

主权项

一种冷却装置，其特征为，具有：处理槽，收纳被冷却物；和减压机构，向外部吸引排出该处理槽内的气体而将上述处理槽内减压；和压力恢复机构，向被减压了的上述处理槽内导入外部气体而将上述处理槽内恢复压力；和压力传感器，检测上述处理槽内的压力，能够依次地执行将上述处理槽内减压到设定压力的急冷工序、和将减压能力降低到比该急冷工序低而将上述处理槽内进一步减压的慢冷工序；上述设定压力被设定为下述压力：比上述处理槽内的饱和蒸汽温度与上述被冷却物的温度相等的品温换算压力高出裕量压力；上述裕量压力以上述品温换算压力越小则上述裕量压力越小的方式设定。