用于改性聚合物膜表面相互作用的工艺和方法

摘要

本发明提供了一种聚合物膜表面相互作用性质的改性方法。在该方法中，聚合物载体目标物用化学组合物覆盖，该化学组合物包含可光聚合化合物、光引发剂或能够引发聚合的催化剂和半氟化分子。由此生产的聚合物模具含有半氟化部分，该半氟化部分主要位于图案化表面的表面和表面附近区域上。聚合物模具适合作为纳米刻印光刻工艺中具有改性性质的模板。

主权项

一种在中间刻印压模方法中形成聚合物模具的工艺方法，所述聚合物模具包含半氟化部分，所述半氟化部分主要位于图案化表面上，当聚合物载体目标物用含有可光聚合化合物、光引发剂或能够引发聚合的催化剂、和半氟化分子的化学组合物覆盖时，其中所述半氟化分子在所述化学组合物中可溶并完全或部分利用能够与所述化学组合物以共价键键合的化学官能团封端。