发明名称 多腔体设备选取腔体的方法
摘要 本发明公开了一种多腔体设备选取腔体的方法,该方法包括如下步骤:第一步,将多腔体设备的当前状态以二进制数表示,二进制数的每一位分别表示一个腔体的当前状态是否正常。第二步,将多腔体设备在当前菜单中的腔体选取规则以一个或多个二进制数表示。第三步,将第一步与第二步得到的二进制数进行逻辑运算,运算结果是二进制数,二进制数的每一位分别表示一个腔体在当前菜单中是否被选取。本发明通过数字化的方法来实现多腔体设备选取腔体,不仅可实现EAP系统对腔体的自动选取,还保证了方案的无限扩展性和灵活性。
申请公布号 CN101430547B 申请公布日期 2010.08.11
申请号 CN200710094201.2 申请日期 2007.11.06
申请人 上海华虹NEC电子有限公司 发明人 檀国节
分类号 G05B19/04(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I 主分类号 G05B19/04(2006.01)I
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人 周赤
主权项 一种多腔体设备选取腔体的方法,其特征是:该方法包括如下步骤:第一步,将多腔体设备的当前状态以二进制数表示,二进制数的每一位分别表示一个腔体的当前状态是否正常;第二步,将多腔体设备在当前菜单中的腔体选取规则以一个或多个二进制数表示;该方法的第二步包括如下三种情况:多腔体设备在当前菜单中的所有腔体具有相同的工艺处理能力时,其腔体选取规则以一个二进制数表示,二进制数的每一位均为1;多腔体设备在当前菜单中具有关键腔体时,其腔体选取规则以一个二进制数表示,二进制数的每一位分别表示一个腔体在当前菜单中是否为关键腔体;多腔体设备在当前菜单中具有多对成对腔体时,其腔体选取规则以多个二进制数表示,每个二进制数分别表示一对成对腔体,二进制数的每一位分别表示一个腔体在当前菜单中是否为该二进制数所表示的一对成对腔体;第三步,将第一步与第二步得到的二进制数进行逻辑运算,运算结果是二进制数,二进制数的每一位分别表示一个腔体在当前菜单中是否被选取;该方法的第三步包括如下两种情况:第二步仅得到一个二进制数时,将第一步和第二步得到的二进制数进行逻辑与运算,得到运算结果;第二步得到多个二进制数时,将第一步得到的二进制数和第二步得到的多个二进制数分别进行逻辑与运算,运算后得到的多个二进制数之间再进行逻辑或运算,得到运算结果。
地址 201206 上海市浦东新区川桥路1188号