工件研磨用头及具备此研磨头的研磨装置

摘要

本发明是一种研磨头，其将橡胶膜做成罩状的构造，使橡胶膜的固定在中板上的位置，成为远离工件保持部侧的位置，罩状橡胶膜的末端部做成O形环状，并使中板与橡胶膜的接触面积减少至极限为止，而支持于中板上的构造。以此，可提供一种研磨头及具备此研磨头的研磨装置，针对橡胶夹头方式的研磨头，可极度地抑制在工件表面上发生伤痕等的表面缺陷，且可安定且均匀地研磨至工件外周为止。

主权项

一种研磨头，是针对：至少在研磨头本体的下部，具备：大约圆盘状的中板；保持于该中板，至少覆盖中板的底面部与侧面部的橡胶膜；以及设于前述橡胶膜的周围的圆环状的导环；具有被前述中板与前述橡胶膜包围而成的第一密闭空间部，并构成以第一压力调整机构来改变前述第一密闭空间部的压力；并且，将工件的背面保持于前述橡胶膜的底面部，且使该工件的表面滑动接触于已贴附在磨盘上的研磨布上来进行研磨的形态的研磨头，其特征在于：前述橡胶膜，其被保持于前述中板上的末端部，形成O形环状，前述中板是被形成分割为上下两片；前述中板与前述橡胶膜，是在前述中板的至少底面部的整个面与侧面部之间具有间隙，且利用前述橡胶膜的O形环状的末端部被夹入前述分割的中板中，以保持前述橡胶膜于前述中板上。