通过维持无接触平坦性来切割物体的划线设备及其方法

摘要

本发明揭示一种具有以无接触方式维持待切割物体的平坦性的功能的划线头设备，以及使用所述设备的划线方法。适合于在X轴和Y轴方向上移动的同时，依序切割所述物体的两个表面的所述划线头设备包含：第一和第二头驱动模块，其分别提供于所述待切割物体的上方和下方，且适合于朝所述物体移动，以便在与所述物体接触的同时，对所述物体执行切割操作；以及第一和第二平坦性维持模块，其提供于相应的第一和第二头驱动模块的相对侧，且用以经由所述物体的空气浮动来维持所述物体的切割区段的平坦性。此配置消除了反馈控制系统中可能发生的响应速度问题，进而实现总体划线设备的管理的改进，以及由于减少的有缺陷产品而带来的生产率的增强。

主权项

一种划线头设备，其具有以无接触方式维持待切割物体的平坦性的功能，且由布置于所述物体上方和下方的上部和下部区段组成，以便在X轴和Y轴方向上移动的同时，依序切割所述物体的两个表面，所述设备包括：第一和第二头驱动模块，其分别提供于所述待切割物体的上方和下方，且适合于朝所述物体移动，以便在与所述物体接触的同时，对所述物体执行切割操作；以及第一和第二平坦性维持模块，其提供于相应的第一和第二头驱动模块的相对侧，且用以经由所述物体的空气浮动来维持所述物体的切割区段的平坦性。