成膜装置的排气系统结构、成膜装置和排出气体的处理方法

摘要

本发明提供一种成膜装置的排气系统结构、成膜装置和排出气体的处理方法。该成膜装置的排气系统结构，具有排出处理容器(11)内的排出气体的排气管(51)，设置于排气管(51)的处理容器(11)附近的自动压力控制器(52)，设置于排气管(51)的自动压力控制器(52)下游侧的真空泵(54)，在排气管(51)的自动压力控制器(52)下游侧的位置供给氧化剂的氧化剂供给部(57)，设置于排气管(51)的氧化剂供给位置下游侧、回收排出气体中的有机金属原料气体成分和副产物与上述氧化剂反应生成的生成物的捕集机构(53)，和设置于排气管(51)的捕集机构(53)下游侧的除害装置(55)。

主权项

一种成膜装置的排气系统结构，该成膜装置向处理容器内供给含有有机金属原料气体的气体，利用CVD在配置于处理容器内的基板上形成膜，其特征在于，具有：排出所述处理容器内的排出气体的排气管；设置于所述排气管的所述处理容器附近的自动压力控制器；设置于所述排气管的所述自动压力控制器下游侧，对所述处理容器内进行排气的真空泵；在所述排气管的所述自动压力控制器下游侧的位置，供给氧化剂的氧化剂供给部，该氧化剂用于使排出气体中的有机金属原料气体成分和副产物氧化；设置于所述排气管的所述氧化剂供给位置的下游侧，回收使所述排出气体中的有机金属原料气体成分和副产物与所述氧化剂反应而生成的生成物的捕集机构；和设置于所述排气管的所述捕集机构下游侧，用于使排出气体无害化的除害装置。