发明名称 MULTILAYER MIRROR.
摘要
申请公布号 NL2004994(A) 申请公布日期 2010.08.09
申请号 NL20102004994 申请日期 2010.06.29
申请人 ASML NETHERLANDS B.V., 发明人 TIMOSHKOV, VADIM;YAKUNIN, ANDREI;OSORIO OLIVEROS, EDGAR
分类号 G02B5/08;G03F7/20 主分类号 G02B5/08
代理机构 代理人
主权项
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