| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND DESIGN SUPPORT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2010171247(A) |
申请公布日期 |
2010.08.05 |
| 申请号 |
JP20090013046 |
申请日期 |
2009.01.23 |
| 申请人 |
FUJITSU SEMICONDUCTOR LTD |
发明人 |
SETSUDA YUJI |
| 分类号 |
H01L21/3213;G06F17/50;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/768;H01L21/82;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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