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发明名称 MIM-Kondensatorstruktur und Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE10348902(B4) 申请公布日期 2010.08.05
申请号 DE2003148902 申请日期 2003.10.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. 发明人 AHN, JEONG-HOON;LEE, KYUNG-TAE;JUNG, MU-KYENG;LEE, YONG-JUN
分类号 H01L21/3205;H01L27/08;H01G4/00;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/768;H01L21/82;H01L21/822;H01L21/8242;H01L23/522;H01L27/04;H01L27/108 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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