MICROMECHANICAL PRESSURE SENSOR COMPRISING A VERTICAL MEMBRANE SUSPENSION ELEMENT

摘要

Die vorliegende Erfindung beschreibt einen mikromechanischen Sensor zur Erfassung einer Druckgröße, insbesondere einer Schalldruckgröße, sowie ein Verfahren zur Herstellung dieses Sensors. Dabei weist der Sensor ein Substrat, eine Membran, ein von der Membran beabstandetes Gegenelement und einen ersten Hohlraum auf. Die Membran ist dabei derart gestaltet, dass sie sich vollständig im dem ersten Hohlraum befindet und lediglich mit wenigstens einem Verbindungselement an dem Gegenelement befestigt ist.