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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erfassen eines Objekts oder/und einer Objektumgebung oder/und eines Objektinneraums mittels eines in einem Fangpotential gefangenen Abtastteilchens (8). Es wird vorgeschlagen, dass in einer ersten Positionsbestimmungsstufe, die einer ersten Größenskala zugeordnet ist, das Fangpotential in einem in Bezug auf das Objekt oder einen Bezugspunkt definierten Positionsbereich bereitgestellt wird, und dass in einer zweiten Positionsbestimmungsstufe, die einer zweiten, gegenüber der ersten Positionsbestimmungsstufe kleineren Größenskala zugeordnet ist, das in dem Fangpotential gefangene Abtasteilchen (8) innerhalb eines dem Positionsbereich zugeordneten Abtastvolumens eine im Wesentlichen ungebundene dreidimensionale Abtastbewegung unter Einfluss des Fangpotentials durchführt und derart das Abtastvolumen abtastet, und dass eine Mehrzahl von in Folge des Abtastens eingenommenen Positionen des Abtastteilchens innerhalb des Abtastvolumens erfasst wird. Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung (4, 14, 16, 18, 20, 22, 24, 26, 28, 30) zur Durchführung dieses Verfahrens.
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