发明名称 |
INDIUMOXID/CEROXID-SPUTTERTARGET, TRANSPARENTER LERANSPARENTEM LEITFÄHIGEM FILM |
摘要 |
|
申请公布号 |
DE602005021958(D1) |
申请公布日期 |
2010.08.05 |
申请号 |
DE20056021958T |
申请日期 |
2005.02.21 |
申请人 |
IDEMITSU KOSAN CO. LTD. |
发明人 |
INOUE, KAZUYOSHI;MATSUBARA, MASATO;TOMAI, SHIGEKAZU |
分类号 |
C23C14/34;G02F1/1343;C23C14/08;C23C14/58;H01B5/14;H01B13/00;H01L21/285;H01L51/50;H05B33/14;H05B33/28 |
主分类号 |
C23C14/34 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|