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发明名称 COMPOSITION FOR FORMING SILICON·ALUMINUM FILM, SILICON·ALUMINUM FILM AND METHOD FOR FORMING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100974154(B1) 申请公布日期 2010.08.04
申请号 KR20057013137 申请日期 2003.12.24
申请人 发明人
分类号 C03C17/10;C23C18/08;C03C17/36;C23C18/12;C23C18/14;H01B5/14;H01B13/00;H01L31/04 主分类号 C03C17/10
代理机构 代理人
主权项
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