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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE, AND METHOD OF CLEANING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1401014(A4) 申请公布日期 2010.08.04
申请号 EP20020728065 申请日期 2002.05.16
申请人 CANON ANELVA CORPORATION;SANYO ELECTRIC CO., LTD.;RENESAS TECHNOLOGY CORP.;PANASONIC CORPORATION;ULVAC, INC.;HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC.;TOKYO ELECTRON LIMITED;KANTO DENKA KOGYO CO., LTD. 发明人 NUMASAWA, YOICHIRO;WATABE, YOSHIMI
分类号 H01L21/31;H05H1/46;B01J19/08;C23C16/44;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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