可装配二维微等离子体阵列装置及其制备方法

摘要

本发明公开了一种可装配二维微等离子体阵列装置及其制备方法，该装置由至少两个电极层与至少一个微腔层层叠排列而成，各层之间密切接触，两个最外侧均为电极层，所有电极层与微腔层上均设有至少两个定位孔，所有电极层和微腔层均通过定位孔对齐；微腔层是表面覆盖介电层的导电材料片，或是绝缘材料组成的绝缘片；微腔层的边缘设有凹陷的线阵列微腔，各个微腔之间由障壁隔离开；电极层是导电材料片；由微腔层和电极层中分别引出电极。制备方法是将片状材料裁切成相同的矩形片作为电极层和微腔层，将电极层与微腔层对齐，按照要求逐层装配。本发明可灵活改变微等离子体阵列尺寸，降低了工艺难度与成本，提高了装置阵列密度、装置尺寸与可靠性。

主权项

一种可装配二维微等离子体阵列装置，由至少两个电极层与至少一个微腔层层叠排列而成，其特征在于：各层之间密切接触，两个最外侧均为电极层，所有电极层与微腔层上均设有至少两个定位孔，所有电极层和微腔层均通过定位孔对齐；微腔层是表面覆盖介电层的导电材料片，或是绝缘材料组成的绝缘片；微腔层的边缘设有凹陷的线阵列微腔，各个微腔之间由障壁隔离开；电极层是导电材料片；由微腔层和电极层中分别引出两电极、三电极或四电极。