一种18对棒多晶硅还原炉

摘要

本实用新型所述的18对棒多晶硅还原炉，其包括含有冷却腔的炉体和布置有电极的底盘，炉体和底盘依次与底座连接。18对即36个电极，在底盘上分3圈布置，9对电极设置在外圆周上，3对电极设置在内圆周上，6对电极设置在内、外圆周之间，电极中的正负电极在3个圆周上均逐一间隔设置；在底盘上设有两个气体进口和一个气体出口，气体进口一由1个连接管和1个喷嘴连通构成，该喷嘴设置在底盘中心位置；气体进口二由1个水平环管、9个连接支管和9个喷嘴连通构成，9个喷嘴位于外圈和第二圈电极之间，同时9个喷嘴沿同一圆周均布设置在底盘上，气体出口设置在底盘中心位置。本实用新型节约成本，结构先进，能耗低，效率高，产量高，冷却效果好。

主权项

一种18对棒多晶硅还原炉，其包括含有冷却腔的炉体(29)和布置有电极的底盘(8)，炉体(29)和底盘(8)依次与底座(20)连接，其特征在于：所述的底盘(8)是水冷式结构，其由上底板(24)、下底板(21)和连接环(23)共同围成冷却水腔(22)，底盘(8)上设置有冷却水进口(15)和冷却水出口(17)；所述电极(10)为18对，即36个电极，在底盘(8)上分3圈布置，9对电极设置在外圆周上，3对电极设置在内圆周上，6对电极设置在内、外圆周之间，电极中的正负电极在3个圆周上均逐一间隔设置；在底盘(8)上设有两个气体进口和一个气体出口，气体进口一(14)由1个连接管(13)和1个喷嘴(6)连通构成，该喷嘴(6)设置在底盘(8)中心位置；气体进口二(12)由1个水平环管(9)、9个连接支管(18)和9个喷嘴(19)连通构成，9个喷嘴(19)位于外圈和第二圈电极之间，同时9个喷嘴(19)沿同一圆周均布设置在底盘(8)上，气体出口(16)设置在底盘(8)中心位置。