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发明名称 SUBSTRATE SUPPORT HAVING BRAZED PLATES AND HEATER
摘要
申请公布号 KR100974130(B1) 申请公布日期 2010.08.04
申请号 KR20087004421 申请日期 2006.08.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/683 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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