柔性金属丝制接触式探针

摘要

本发明涉及接触式金属丝制探针，该探针采用的柔性金属丝具有扫描方向的惯性力矩小于垂直于扫描方向的惯性力矩的截面形状，在施加弯曲作用力使其向扫描方向弯曲的状态下进行扫描时，不仅能够提高扫描方向性，而且由于柔性金属丝在弯曲状态下进行扫描，能够确保与金属丝弯曲长度相当的高度富余量，提高对被测对象高度变化的适应能力，又由于柔性金属丝在较小的弯曲作用力下也能向扫描方向弯曲，因此，在扫描时能够减少与被测对象之间的摩擦，从而减少柔性金属丝及被测对象的磨损。

主权项

一种柔性金属丝制接触式探针，其特征在于，为检测是否存在断线或短路而进行扫描时，在所述柔性金属丝的横截面上，沿扫描方向的惯性力矩小于垂直于扫描方向的惯性力矩。