管型相变化存储器形成方法

摘要

一种存储器单元设备，包括下电极，包括相变化材料的管型部件及与管型部件接触的上电极。管型部件内侧有电绝缘及热绝缘材料。本发明还公开包括管型相变化存储器的集成电路。

主权项

一种形成存储单元的方法，其包含：在源极终端或漏极终端上形成填充层；形成穿透该填充层至该源极终端或漏极终端的通孔；在该通孔内填满导体，以形成导电插头；将部分该导体从该通孔内移除，其中该通孔内的该导电插头的其余部分做为下电极；在该通孔内形成可编程电阻材料的共形层，该共形层包含管型构件；以及在该填充层上形成与该管型构件相接的上电极。