立方氮化硼高压合成装置

摘要

本实用新型涉及一种立方氮化硼高压合成装置，其主要特点是：在合成腔内石墨加热管的上下两端装有与合成棒同直径的陶瓷片，陶瓷片与合成棒之间设有一个同直径的石墨加热片，该陶瓷片与石墨加热片及合成棒的累加高度与石墨加热管的高度相一致。该装置具有良好的传压保温性能，能使合成棒压力、温度分布的均匀性得到有效改善，并使合成腔体压力及温度梯度减小，立方氮化硼的转化率得以提高，而且生长的立方氮化硼晶体质量一致性也得到了提高。

主权项

一种立方氮化硼高压合成装置，其特征在于：在合成腔内石墨加热管的上下两端装有与合成棒同直径的陶瓷片，陶瓷片与合成棒之间设有一个同直径的石墨加热片，该陶瓷片与石墨加热片及合成棒的累加高度与石墨加热管的高度相一致。