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发明名称 DRIVE SYSTEM FOR SCANNING A WORKPIECE WITH AN ION BEAM
摘要
申请公布号 EP1738393(B1) 申请公布日期 2010.08.04
申请号 EP20050731158 申请日期 2005.04.05
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 VANDERPOT, JOHN;POLLACK, JOHN;BERRIAN, DONALD, W.
分类号 H01L21/68;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/687;H02K5/24;H02K16/00 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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