发明名称 METHOD FOR FORMING THIN SILICON NITRIDE LAYERS ON THE SURFACE OF SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1727925(B1) 申请公布日期 2010.08.04
申请号 EP20050736348 申请日期 2005.03.22
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 ROGLER, DANIELA;HOPFE, VOLKMAR;MAEDER, GERRIT
分类号 C23C16/34;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
地址