使用主分量分析的紧凑ABBE内核生成

摘要

提供了一种使用主分量分析的紧凑ABBE内核生成。一些实施例提供用于确定对光刻工艺的光学系统进行建模的ABBE内核集合的技术。在操作期间，系统可以接收用于光刻工艺的光学系统的光学参数(例如数值孔径、波长等)。接着，系统可以使用光学参数以确定用于ABBE源的点扩展函数。注意可以通过使用同心圆集合将光学系统的光源离散化或者以正交方式将光学系统的光源离散化来确定用于ABBE源的点扩展函数。系统然后可以根据点扩展函数来确定相关矩阵。接着，系统可以通过使用主分量分析进行相关矩阵的特征分解来确定ABBE内核集合。系统然后可以使用ABBE内核集合以计算图像强度。

主权项

一种用于确定对光刻工艺的光学系统进行建模的Abbe内核集合的方法，所述方法包括：接收用于所述光刻工艺的光学系统的光学参数；使用所述光学参数以确定用于Abbe源的点扩展函数；根据所述点扩展函数来确定相关矩阵；通过使用主分量分析执行所述相关矩阵的特征分解来确定所述Abbe内核集合；并且存储所述Abbe内核集合。