微纳光学元件光学参数测量方法与装置

摘要

本发明公开了一种微纳光学元件光学参数测量方法与装置，测量方法为：测量光源发出的单色光通过偏振片调制后入射到待测光学元件表面上，光敏探测接收器同时探测接收光学元件反射和透射的光信息，将探测接收的光学信息传输给I/D转换器转化为数字信息，输入到计算机借助优化算法将光学元件的光学参数优化，实现对微纳光学元件光学参数的高精度测量。测量装置主要包括测量光源，将光源发出的单色光予以调制的偏振片，安放待测光学元件的安放器和比较探测器，其中比较探测器又由光敏探测接收器，将光信息转化为数字信息的I/D转换器和计算机组成。本发明能够克服微纳光学元件本身制造误差对测量结果的影响，实现对微纳光学元件光学参数高精度测量。

主权项

一种微纳光学元件光学参数测量方法，其特征在于：使测量光源发出的单色光通过偏振片调制后入射到待测光学元件表面上，用光敏探测接收器同时探测接收光学元件反射和透射的光信息，将探测接收到的光学信息传输给I/D转换器，I/D转换器将光信息转化为数字信息输入到计算机，计算机借助优化算法将光学元件的光学参数优化，输出测量结果，从而实现对微纳光学元件光学参数的高精度测量。