薄膜叠层体的制造装置和方法

摘要

本发明提供薄膜叠层体的制造装置和方法。其即使在使带状挠性基板的宽度方向朝向铅垂方向的同时，将基板在水平方向上搬送较长的距离，也能够高精度地维持基板的铅垂方向上的位置。当在带状挠性基板(1)的表面叠层多层薄膜而制造薄膜叠层体时，将配置在多个成膜室之间的间隔中的至少一个间隔内、夹着基板的铅垂方向上侧的端部的至少一对夹持辊(52U)设置为，该夹持辊的旋转方向相对于基板(1)的搬送方向成角度(θU)地向上方倾斜，通过使该夹持辊(52U)夹着基板(1)的力变化，能够在基板(1)产生上升的力(Fx)，从而控制基板(1)的高度。

主权项

一种薄膜叠层体的制造装置，其是在带状挠性基板的表面叠层多层薄膜而制造薄膜叠层体的装置，该薄膜叠层体的制造装置的特征在于，包括：基板搬送机构，其使所述基板的宽度方向为铅垂方向，并在水平方向上搬送所述基板；多个成膜室，其沿着所述基板的搬送方向连续地排列，在所述基板的表面进行成膜；至少一对夹持辊，其配置在所述多个成膜室之间的间隔中的至少一个间隔内，夹着所述基板的铅垂方向上侧的端部，该夹持辊的旋转方向被设置为相对于所述基板的搬送方向朝上方倾斜；和控制机构，其通过使所述至少一对夹持辊夹着所述基板的力发生变化来控制所述基板的高度。