| 发明名称 | 用于电压/电流探针测试装置的方法和设备 | ||
| 摘要 | 提供一种用以执行电气测量以校准等离子处理室探针的诊断工具。该诊断工具包括RF发生器。该诊断工具还包括第一阻抗电路。该第一阻抗电路是电压负载网络，配置为当来自该RF发生器的RF功率输送至该第一阻抗电路时输送来自该RF发生器的RF电压输出用以电压测量。该诊断工具进一步包括第二阻抗电路。该第二阻抗电路是电流负载网络，配置为当来自该RF发生器的RF功率输送至该第二阻抗电路时输送来自该RF发生器的RF电流输出用以电流测量。该诊断工具进一步包括同轴交换网络装置配置为提供可切换RF输送路径以将来自该RF发生器的RF功率输送至该第一阻抗电路和该第二阻抗电路之一。 | ||
| 申请公布号 | CN101796624A | 申请公布日期 | 2010.08.04 |
| 申请号 | CN200880105513.1 | 申请日期 | 2008.06.25 |
| 申请人 | 朗姆研究公司 | 发明人 | 加理·M·莱姆森 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海华晖信康知识产权代理事务所(普通合伙) 31244 | 代理人 | 樊英如 |
| 主权项 | 一种用以执行电气测量以校准等离子处理室探针的诊断工具，包括：RF发生器；第一阻抗电路，所述第一阻抗电路是电压-负载网络，配置为当来自该RF发生器的RF功率输送至该第一阻抗电路时输送来自该RF发生器的RF电压输出用于电压测量，其中该RF电压输出在大约200伏特至大约6100伏特的范围内；第二阻抗电路，所述第二阻抗电路是电流负载网络，配置为当来自该RF发生器的RF功率输送至该第二阻抗电路时输送来自该RF发生器的RF电流输出用于电流测量，其中该RF电流输出在大约2安培至大约50安培的范围内；以及同轴交换网络装置，配置为提供可切换RF输送路径以将来自该RF发生器的RF功率输送至该第一阻抗电路和该第二阻抗电路之一。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||