基于超声波振动台的液体材料薄膜喷涂装置及方法

摘要

本发明具体涉及一种基于超声波振动台的液体材料薄膜喷涂装置及方法，属于半导体技术领域。为提高涂敷薄膜的均匀度，同时减少涂敷溶液的使用量，降低浪费和环境污染，本发明提供一种基于超声波振动台的液体材料薄膜喷涂装置，包括喷嘴移动机构用于移动超声雾化喷嘴，超声雾化喷嘴用于雾化液体形成微细液滴；器件吸附构件设置于超声雾化喷嘴下方，用于吸附固定待喷涂基片器件；超声振动构件设置于器件吸附构件下端，用于对待喷涂基片器件进行上下方向的振动。通过该方法，涂布于晶片的光刻胶的均匀性增加的同时，所用光刻胶的使用量大大减小，而由此产生的环境问题也减少了。

主权项

一种基于超声波振动台的液体材料薄膜喷涂装置，其特征在于，所述装置包括：超声雾化喷嘴，用于雾化液体形成微细液滴；喷嘴移动机构，连接超声雾化喷嘴，用于移动所述超声雾化喷嘴；器件吸附构件，设置于所述超声雾化喷嘴下方，用于吸附固定待喷涂基片器件；超声振动构件，设置于所述器件吸附构件下端，连接超声驱动电源，用于对所述待喷涂基片器件产生上下方向的振动。