发明名称 场效应晶体管
摘要 提供一种场效应晶体管,该场效应晶体管包含栅电极(15)、源电极(13)、漏电极(14)和沟道层(11),以通过向栅电极(15)施加电压控制在源电极(13)和漏电极(14)之间流动的电流。沟道层(11)由包含In和Si并且具有不小于0.05且不大于0.40的由Si/(In+Si)表示的成分比的非晶氧化物构成。
申请公布号 CN101796644A 申请公布日期 2010.08.04
申请号 CN200880105254.2 申请日期 2008.08.29
申请人 佳能株式会社 发明人 岩崎达哉;板垣奈穗
分类号 H01L29/786(2006.01)I 主分类号 H01L29/786(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 康建忠
主权项 一种场效应晶体管,该场效应晶体管包含栅电极、源电极、漏电极和沟道层,以通过向栅电极施加电压控制在源电极和漏电极之间流动的电流,其特征在于,形成沟道层的非晶氧化物由包含In和Si并且具有不小于0.05且不大于0.40的由Si/(In+Si)表示的成分比的非晶氧化物构成。
地址 日本东京