发明名称 |
一种用于微纳米坐标测量的多测头测量方法与装置 |
摘要 |
本发明为一种用于微纳米坐标测量的多测头测量方法与装置。将微纳米多测头系统安装在三维高精度位移平台上,Z向平移台上安装载物台,载物台下面有俯仰和偏摆微调机构。多测头系统的测量装置放置在隔离腔中,测量装置的控制信号和多测头系统的传感信号与隔离腔外的DAQ卡,控制箱和计算机相连。将一个测头中心作为坐标系的原点,把其他几个测头所在位置坐标依次匹配到坐标系中。对多测头系统进行校准,对各测头在统一坐标系中的位置坐标进行校准。测量时,由与被测点最近的测头进行测量。将各被测点对应的三维位移平台的位移量,转换为各被测点在坐标系中的坐标,计算出被测尺寸。本发明方法具有工作效率高、测量精度高的优点。 |
申请公布号 |
CN101793499A |
申请公布日期 |
2010.08.04 |
申请号 |
CN201010136223.2 |
申请日期 |
2010.03.30 |
申请人 |
上海市计量测试技术研究院 |
发明人 |
李源;陈欣;王丽华 |
分类号 |
G01B11/02(2006.01)I;G01B11/03(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海浦东良风专利代理有限责任公司 31113 |
代理人 |
陈志良 |
主权项 |
一种用于微纳米坐标测量的多测头测量方法,其特征在于:将微纳米多测头系统安装在三维高精度位移平台上,构成一套测量装置,三维位移平台由X向平移台,Y向平移台和Z向平移台组装而成,Z向平移台上安装载物台,载物台上表面为水平面,用于放置被测工件,载物台下面有俯仰和偏摆微调机构,可以调整载物台的承载面,使之与三维平台的Z向严格垂直;在三维位移平台的周围位置有4个立柱,4个立柱上安装一块平板,多测头系统通过夹持机构固定在平板上。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张衡路1500号 |